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真空镀膜设备结构和原理

2019-09-11

真空电镀加工系统由机械泵、分散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。依据工艺要求挑选镀制方法,如电阻蒸腾,磁控源以靶材材质及尺度多弧源,真空计量可挑选数字式智能真空计及其优质的计量规管,及其它计量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。 

    炉体可挑选由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。 真空镀膜设备依据工艺要求挑选不同标准及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸腾、电子束蒸腾、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。 夹具工作方法有自转、公转及公转+自转方法,用户可依据基片尺度及形状提出相应要求,滚动的速度规模及滚动精度:一般可调及变频调速等。 

    充气方法可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门,并可挑选多路充气管路及相应流量参数。 真空镀膜设备依据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应外表丈量。 依据设备使用特性,可挑选手动、半自动、全自动或其组合的控制方法。 完善的报警体系,对真空室体、分散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

    东莞鑫淼真空科技有限公司是一家真空镀膜的专业生产企业,公司旗下共2家真空镀膜厂,鑫淼科技创立于2018年3月,为结合市场高品质需求,提供更完美的服务


杭州真空镀膜电镀厂家

 


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